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下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

本文摘要:据麦姆斯咨询报导,近日,领先的微机电系统(MEMS)和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展览”上展出了用作研发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新的平台拓展了Micralyne现有的标准MEMS模块,并为设计人员获取了构建当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。

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据麦姆斯咨询报导,近日,领先的微机电系统(MEMS)和传感器代工厂Micralyne在日本“MEMS传感和网络系统展览”上展出了用作研发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。该新的平台拓展了Micralyne现有的标准MEMS模块,并为设计人员获取了构建当前气体传感器目标市场所需的小型化、低功耗气体检测结构的方案。构建微型冷却板的金属氧化物气体传感器,芯片尺寸为1.6mmx1.6mm金属氧化物气体传感器组件气体传感器市场正在再次发生巨大变化,主要由大量的消费类不应驱动发展,例如应用于物联网领域的各种智能家居和可穿着设备,构建周围环境空气质量的监测。现有的气体检测技术正在经历新的技术挑战,如成本大幅度上升、功率较低、选择性提升、有所不同类型的气体检测,以及较宽的工作温度。

“Micralyne早已看见了亚太地区客户对小型气体传感器的市场需求快速增长,为了加快客户的产品设计,我们研发了一套标准工艺,可以较慢构建气体传感器的量产,这主要归功于我们在气体传感结构方面的非常丰富经验,以及十多年的薄膜流量传感器的量产经验。”Micralyne技术副总裁CollinTwanow说,“我们很高兴需要与日本合作伙伴Adamant一起展出MEMS技术平台。”Micralyne的MEMS技术平台获取MEMS设计的模块化方法,并通过半自定义设备较慢构建产品原型研发,加速度量产工程进度,但会壮烈牺牲产品的质量和一致性。

Micralyne从2006年开始就获取标准工艺和MEMS模块,希望减少MEMS研发成本,延长MEMS产品上市时间。


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